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半导体无掩模光刻设备、 高端PCB专用激光直写成像设备（LDI）、 显示领域OLED直写光刻设备、 其他产品系列、 合肥芯碁微电子装备股份有限公司、

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合肥芯碁微电子装备股份有限公司-合肥芯碁微电子装备股份有限公司（简称“芯碁微装”），成立于2015年6月，位于合肥市高新区集成电路产业基地，是一家拥有完全自主知识产权的、专业致力于半导体无掩模光刻设备、高端PCB专用激光直写成像设备（LDI）、显示领域OLED直写光刻设备的研发和生产高科

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